堆積膜形成装置のクリーニング方法、及び堆積膜形成方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-351988
公開番号（公開出願番号）：特開平10-168574
出願日： 1996年12月11日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】本発明は、堆積膜の形成装置におけるクリーニングに要する時間を短縮し、その保守時間を短縮して、生産性に優れた堆積膜形成装置のクリーニング方法及び堆積膜形成方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、減圧可能な反応容器と、該反応容器内を排気する排気部からなる堆積膜形成装置を用い、該反応容器内に原料ガス及び放電電力を導入し、該放電電力によって前記原料ガスを分解して前記反応容器内に設置された基体上に堆積膜を形成した後、前記反応容器内と前記排気部内とに残留する堆積膜形成時に発生した副生成物をエッチング処理することにより、該反応容器内及び排気部内のクリーニング処理を行う堆積膜形成装置のクリーニング方法において、前記クリーニング処理を前記反応容器と前記排気部とを切り離してそれらを個別にクリーニング処理することを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

減圧可能な反応容器と、該反応容器内を排気する排気部からなる堆積膜形成装置を用い、該反応容器内に原料ガス及び放電電力を導入し、該放電電力によって前記原料ガスを分解して前記反応容器内に設置された基体上に堆積膜を形成した後、前記反応容器内と前記排気部内とに残留する堆積膜形成時に発生した副生成物をエッチング処理することにより、該反応容器内及び排気部内のクリーニング処理を行う堆積膜形成装置のクリーニング方法において、前記クリーニング処理を前記反応容器と前記排気部とを切り離してそれらを個別にクリーニング処理することを特徴とする堆積膜形成装置のクリーニング方法。

IPC (5件)：

C23C 16/50 , C23C 16/44 , G03G 5/08 105 , G03G 5/08 360 , H01L 21/205

FI (5件)：

C23C 16/50 , C23C 16/44 J , G03G 5/08 105 , G03G 5/08 360 , H01L 21/205

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