特許

J-GLOBAL ID：200903086464339407

炭酸ガスセンサとその製造方法

発明者： 横 松 得 滋 ,  今 泉 三 之 ,  江 頭 信 正
出願人/特許権者： 株式会社オプテックディディ・メルコ・ラボラトリー ,  第一電工株式会社 ,  三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 澤野 勝文 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-041393
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248307
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】 固体電解質型炭酸ガスセンサの生産性を低下させずにそのセンサの小型化が図れるようにすると共に、そのセンサの出力特性が長期にわたって変化しないようにする。【構成】 薄板状の固体電解質基板2の片面に、スクリン印刷によって層状の検知電極3と対向電極4が形成され、その固体電解質基板2の他面には、スクリン印刷によって電気的絶縁層7とヒータ層8が形成された積層構造の炭酸ガスセンサにする。

請求項（抜粋）：

薄板状の固体電解質基板(2)の片面に、その面の片端側と他端側に分かれて層状の検知電極(3)と対向電極(4)が形成され、前記固体電解質基板(2)の他面には、電気的絶縁層(7)を介してヒータ層(8)が形成されていることを特徴とする炭酸ガスセンサ(1)。

IPC (2件)：

G01N 27/406 ,  G01N 27/416

FI (2件)：

G01N 27/58 Z ,  G01N 27/46 376