特許
J-GLOBAL ID：200903086464582700
微小電界放出陰極アレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339029
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144370
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】本発明は微小電界放出陰極アレイに関し、特に、電子を放出するエミッタコーンを幾つかづつまとめて小ブロックにし、ある一部で電極間短絡が発生した場合にも障害がその小ブロックだけに限定されるようにして、アレイ全体の信頼性を向上させることを目的とする。【構成】基板1上に複数の先端が尖ったコーン2が形成され、夫々のコーン2K先端20を取り囲んでゲート電極開口部3が設けられ、前記コーン2の先端20から電界放出により電子ビームが取り出されてなる微小電界放出陰極アレイにおいて、前記コーン2を複数個づつまとめて小ブロック4とし、該小ブロック4毎に膜状に形成されているゲート電極30へ供電する引き出し電極部31が設けられ、該引き出し電極部31が前記小ブロック4内での電極間短絡発生時に過電流により溶断されるようにして微小電界放出陰極アレイを構成する。
請求項（抜粋）：
基板(1) 上に複数の先端が尖ったコーン(2) が形成され、それぞれのコーン(2) の先端(20)を取り囲んでゲート電極開口部(3) が設けられ、前記コーン(2) の先端(20)から電界放出により電子ビームが取り出されてなる微小電界放出陰極アレイにおいて、前記コーン(2) を複数個づつまとめて小ブロック(4) とし、該小ブロック(4)毎に膜状に形成されているゲート電極(30)へ給電する引き出し電極部(31)が設けられ、該引き出し電極部(31)が前記小ブロック(4) 内での電極間短絡発生時に過電流によって溶断されることを特徴とした微小電界放出陰極アレイ。
引用特許：
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