特許

J-GLOBAL ID：200903086468372263

ウエハの固定方法

発明者： 太田 嘉治 ,  市江 直子
出願人/特許権者： 野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-199579
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064662
出願日： 1994年08月24日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 ウエハを、高い清浄度に維持することができ、従来に比べて歩留まりを向上させて、生産性の向上を図ることのできるウエハの固定方法を提供する。【構成】 ウエハ1とウエハ載置面3との間に微細な層厚の超純水層6(図1には相対的に拡大して示す。)を介在させた状態で、ウエハ載置面3上にウエハ1を載置する。冷却用配管4に所定の冷媒を循環させてウエハ載置台2を冷却し、超純水層6を急冷して凍結させ、ウエハ1をウエハ載置台2上に固定する。

請求項（抜粋）：

ウエハを、把持具、基台等の他の部材に固定するにあたり、前記ウエハと前記部材都の間に、前記ウエハと前記部材に親和性を有する低粘度液体を介在させ、前記低粘度液体の凝固点以下の温度に急冷して前記低粘度液体を凝固させることを特徴とするウエハの固定方法。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B28D 7/04 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/301

FI (2件)：

H01L 21/30 503 C ,  H01L 21/78 N