特許

J-GLOBAL ID：200903086488623912

波長変換光学系及びレーザ装置

発明者： 徳久 章 ,  土肥 正明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-209433
公開番号（公開出願番号）：特開2006-030594
出願日： 2004年07月16日
公開日（公表日）： 2006年02月02日
要約：

【課題】 時間によって劣化が避けられない波長変換素子やダイクロイックミラーを長時間に亘って使用可能な波長変換光学系を提供する。【解決手段】 制御回路17は、励起用光源部5を操作して、8倍波のパワーを一定に保っている。7倍波発生部9のBBO結晶の劣化により、基本波の出力が徐々に大きくなり所定値に達すると、BBOシフト操作部18に指令を出してBBO結晶の光軸を所定量傾ける。これにより、今まで使用されていなかったBBO結晶の内部を光が通過することになり、BBO結晶の変換効率が上がるので、基本波出力を低下させても8倍波の出力を一定に保てるようになる。これを繰り返し、BBO結晶の傾きだけでは制御できなくなったとき、BBO結晶の光軸の傾きを元に戻すと共に、BBO結晶をシフトさせて、入射光の受光位置を変更する。これにより、8倍波出力を一定に保つための基本波出力は初期状態に戻る。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

波長変換素子を用いて、入力される基本波からその高調波を発生させる波長変換光学系であって、波長変換素子としてBBO結晶、CLBO結晶のうち少なくとも一つを用いている波長変換光学系において、出力される光のパワーをモニタリングする出力光モニタ装置と、当該出力光モニタ装置の出力を受け、出力される光のパワーが一定となるように前記入力される基本波のパワーを操作する出力光調整装置と、当該基本波のパワーをモニタする基本波モニタ装置と、前記基本波モニタ装置で検出された前記基本波のパワーが所定値に達したとき、前記BBO結晶、CLBO結晶のうち少なくとも一つの、受光角度又は受光位置の少なくとも一方を、所定量だけ調整又はシフトする調整・シフト制御装置を有することを特徴とする波長変換光学系。

IPC (1件)：

G02F 1/37

FI (1件)：

G02F1/37

Fターム (11件)：

2K002AB12 ,  2K002BA01 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002EA21 ,  2K002EA22 ,  2K002EB12 ,  2K002EB15 ,  2K002FA27 ,  2K002GA05 ,  2K002HA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• レーザ治療装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-078636   出願人：株式会社ニコン