特許
J-GLOBAL ID：200903086503275578
ドライプロセス用蒸発るつぼ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-322884
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172975
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 熱伝導率の良好な金属も効率良く溶融する。【構成】 イオンプレーティング装置に用いられる蒸発るつぼにおいて、インナーハース21は黒鉛製のインナーハース部21aとインナーハース部の外表面層に形成された断熱性を有するとともに良電気伝導性の物質とを備えている。そして、この物質は内表面から外表面に向かってその量が徐々に増加するようにインナーハース部の外表面層に形成されている。このように構成することによって、インナーハース内表面と外表面との温度差を大きくとることができ、結果的にインナーハース内表面を高温に維持することができる。
請求項（抜粋）：
プラズマビームによって金属を溶融して蒸着物質を発生させて該蒸着物質を被メッキ材に蒸着する際に用いられ、前記金属を溶融する際に使用されるるつぼであって、前記金属を収納するインナーハースと、内部に密閉空間が形成され該密閉空間に永久磁石が配置されて前記インナーハースを支持するハース本体と、前記永久磁石を冷却する冷却手段とを有し、前記インナーハースは内表面及び外表面を備え、前記内表面が前記金属に接触しており、前記インナーハースは黒鉛で形成された主体と、前記主体の外表面層に形成された断熱性を有するとともに良電気伝導性の物質とを有し、該物質は前記内表面から前記外表面に向かってその量が徐々に増加するように前記主体の外表面層に形成されていることを特徴とするドライプロセス用蒸発るつぼ。
IPC (2件)：
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