特許

J-GLOBAL ID：200903086506966873

大気圧プラズマ発生装置及びその装置を用いた大気圧プラズマ発生方法

発明者： 澤田 康志 ,  小駒 益弘
出願人/特許権者： 松下電工株式会社 ,  小駒 益弘
代理人 (1件)： 佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-125408
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321397
出願日： 1995年05月24日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 空気や窒素、酸素等のガスを使用しても、均質なグロー放電を極めて小さい印加電力で発生させることができ、エネルギー効率、反応効率に優れた大気圧プラズマ発生装置及びその装置を用いた大気圧プラズマ発生方法を提供する。【構成】 交流電源5と接続される電極1aと接地電極1bとから成る電極対1を設けて、ガスの存在下で、前記電極対1間に交流電界を印加して、大気圧下でグロー放電プラズマを発生させる大気圧プラズマ発生装置において、前記電極対1間に、導電体の全面に絶縁体を被覆して形成した粒状体4を充填する。前記導電体が金属であり、絶縁体が無機誘電体である。前記電極対1が金属網である。前記大気圧プラズマプラズマ発生装置を用いて、ガスの存在下で、前記電極対1間に交流電界を印加して、大気圧下でグロー放電プラズマを発生させる。前記ガスが空気を主成分とする。

請求項（抜粋）：

交流電源(5)と接続される電極(1a)と接地電極(1b)とから成る電極対(1)を設けて、ガスの存在下で、前記電極対(1)間に交流電界を印加して、大気圧下でグロー放電プラズマを発生させる大気圧プラズマ発生装置において、前記電極対(1)間に、導電体(2)の全面に絶縁体(3)を被覆して形成した粒状体(4)を充填することを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。

IPC (2件)：

H05H 1/02 ,  C08J 7/00 306

FI (2件)：

H05H 1/02 ,  C08J 7/00 306