特許
J-GLOBAL ID：200903086510479359
焼結中のゲルプレートのねじれ曲がりを防止するための方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 安藤 克則
, 高松 武生
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-551493
公開番号（公開出願番号）：特表2004-528256
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：
焼結工程中のプレートのねじれ曲がりを実質的に排除する、ゾル-ゲル法を用いて調製された薄いゲルプレート(例えばシリカ)を焼結することによる薄いプレートを造るための新しい方法が開示される。ゾル-ゲルをベースとするシリカプレートを密なガラスに焼結することは、典型的には重大な収縮を起こし、そしてこれは、そのプレートに、特にその端のあたりでカールを起こさせる可能性がある。この現象はねじれ曲がり(warpage)と称される。本発明の方法において、ゲルプレートを、耐火性粉末の薄い層により分離させて、支持体表面上に載置させながら、焼結工程が行われる。高い焼結温度で、該粉末は部分的に溶融し、そしてゲルプレートと支持体表面との両方に付着し、これはプレートを曲げてしまう、ゲルプレートにおける不均一な応力を防止する。
請求項（抜粋）：
支持体表面上に耐火性粉末の層を置き;
該耐火性粉末の層上に薄いゲルプレートを置き;
該薄いゲルプレートの温度を焼結温度に上昇させて、プレートを焼結させ、それらにおいて、該耐火性粉末は部分的に溶融して、該ゲルを該支持体表面上に固定し、焼結されたプレートがねじれ曲がる、プレートおける不均一な応力を防止し;そして
支持体表面から焼結されたプレートを分離する、
ことからなる薄いゲルプレートを焼結する方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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