特許

J-GLOBAL ID：200903086510479359

焼結中のゲルプレートのねじれ曲がりを防止するための方法

発明者： ガングリ、ラーウル ,  コルバーン、スティーブン
出願人/特許権者： 矢崎総業株式会社
代理人 (4件)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  安藤 克則 ,  高松 武生
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-551493
公開番号（公開出願番号）：特表2004-528256
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2004年09月16日
要約：

焼結工程中のプレートのねじれ曲がりを実質的に排除する、ゾル-ゲル法を用いて調製された薄いゲルプレート(例えばシリカ)を焼結することによる薄いプレートを造るための新しい方法が開示される。ゾル-ゲルをベースとするシリカプレートを密なガラスに焼結することは、典型的には重大な収縮を起こし、そしてこれは、そのプレートに、特にその端のあたりでカールを起こさせる可能性がある。この現象はねじれ曲がり(warpage)と称される。本発明の方法において、ゲルプレートを、耐火性粉末の薄い層により分離させて、支持体表面上に載置させながら、焼結工程が行われる。高い焼結温度で、該粉末は部分的に溶融し、そしてゲルプレートと支持体表面との両方に付着し、これはプレートを曲げてしまう、ゲルプレートにおける不均一な応力を防止する。

請求項（抜粋）：

支持体表面上に耐火性粉末の層を置き; 該耐火性粉末の層上に薄いゲルプレートを置き; 該薄いゲルプレートの温度を焼結温度に上昇させて、プレートを焼結させ、それらにおいて、該耐火性粉末は部分的に溶融して、該ゲルを該支持体表面上に固定し、焼結されたプレートがねじれ曲がる、プレートおける不均一な応力を防止し;そして 支持体表面から焼結されたプレートを分離する、 ことからなる薄いゲルプレートを焼結する方法。

IPC (1件)：

C04B35/64

FI (1件)：

C04B35/64 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-055331
  
• 特開平4-055331
  
• 特開昭62-096333