特許
J-GLOBAL ID:200903086515832049
レーザ装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-022397
公開番号(公開出願番号):特開2000-221555
出願日: 1999年01月29日
公開日(公表日): 2000年08月11日
要約:
【要約】【課題】 5fs以下の広帯域レーザ光を出射可能なレーザ装置を提供する。【解決手段】本レーザ装置は、レーザ光源101から出力された信号光を圧縮する前段光学系400a,400bと、信号光を励起光の入力に応じて増幅する非線形光学結晶112と、増幅された信号光を圧縮する後段光学系100a,100bとを備え、前段及び後段光学系は入力される光を反射する特殊な多層膜ミラー100a,100b,400a,400bを備えている。このレーザ装置によれば、レーザ光源から出力された信号光を圧縮する前段光学系を、増幅された信号光を圧縮する後段光学系に加えて備えているので、このような信号光のチャープを補償し、パルス幅を5fs以下とすることができる。
請求項(抜粋):
レーザ光源から出力された信号光を圧縮する前段光学系と、前記信号光を励起光の入力に応じて増幅する非線形光学結晶と、増幅された信号光を圧縮する後段光学系とを備え、前記前段及び後段光学系は入力される光を反射する多層膜ミラーを備え、前記多層膜ミラーは、屈折率の異なる複数の誘電体膜を基板上に積層してなり、可視光帯域における反射率が95%以上であって、その露出面を構成する最外膜の屈折率がこの最外膜直下の膜の屈折率よりも低く、且つ、前記帯域内の長波長成分の群遅延が短波長成分の群遅延よりも大きくなるように、前記最外膜を含む前記誘電体膜各膜の光学膜厚が設定されていることを特徴とするレーザ装置。
IPC (3件):
G02F 1/39
, G02B 5/08
, H01S 3/08
FI (3件):
G02F 1/39
, G02B 5/08 A
, H01S 3/08 Z
Fターム (22件):
2H042DA08
, 2H042DB00
, 2H042DE07
, 2K002AA04
, 2K002AA07
, 2K002AB12
, 2K002AB33
, 2K002BA02
, 2K002CA02
, 2K002CA22
, 2K002EA30
, 2K002GA10
, 2K002HA20
, 2K002HA21
, 5F072AB20
, 5F072JJ04
, 5F072JJ20
, 5F072KK11
, 5F072KK12
, 5F072KK30
, 5F072QQ02
, 5F072QQ03
引用特許:
引用文献:
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