特許
J-GLOBAL ID：200903086517271303
物理蒸着装置のマスキング治具
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-192380
公開番号（公開出願番号）：特開平11-036061
出願日： 1997年07月17日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：
【要約】【課題】 物理蒸着装置を使用してCD-ROM、CD-RまたはCD-E基板に金属、特に貴金属物理蒸着膜を形成するに際し、物理蒸着膜を付着させない個所に使用するマスキング治具を提供する。【解決手段】 マスキング治具2の基体表面に、水で洗浄することにより除去できる水溶性樹脂コーティング剤膜またはカーボン離型剤膜を形成してなる。
請求項（抜粋）：
マスキング治具基体の表面に水で洗浄することにより除去できる離型剤膜を形成してなることを特徴とする物理蒸着装置のマスキング治具。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/04 A
, C23C 14/24 G
