新規モノマー、ポリマー、それらの合成方法及びフォトレジスト組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千田稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-050311
公開番号（公開出願番号）：特開2002-003447
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】新規な脂環式のエステル化されたノルボルネンカルボキシレートモノマー、ポリマー及びレジンバインダーとしてそのポリマーを含むフォトレジスト組成物、およびそのモノマー及びポリマーの合成方法を提供する。【解決手段】a)脂環式アルコールとα,β-不飽和化合物とを反応させて、α,β-不飽和エステルを製造し、b)α,β-不飽和エステルとジエンとを反応させてノルボルネン化合物を製造することを含む一般式IIの置換ノルボルネン化合物の調製方法。工程a)及びb)はジエンとの反応前にα,β-不飽和エステルを分離することなく遂行される方法で、具体例はスキーム11による、式7のモノマー化合物の調製がある。[Xは第3級脂環式基である。]

請求項（抜粋）：

a)脂環式アルコールとα,β-不飽和化合物とを反応させて、α,β-不飽和エステルを提供し;b)α,β-不飽和エステルとジエンとを反応させてノルボルネン化合物を提供することを含む置換ノルボルネン化合物の調製方法であって、工程a)及びb)は、ジエンとの反応前にα,β-不飽和エステルを分離することなく遂行される方法。

IPC (16件)：

C07C 67/347 , C07C 35/06 , C07C 35/08 , C07C 35/24 , C07C 35/27 , C07C 35/30 , C07C 35/37 , C07C 69/013 , C07C 69/753 , C08F 32/04 , G03F 7/027 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027 , C07C 29/40 , C07C 67/14 , C07C 69/54

FI (16件)：

C07C 67/347 , C07C 35/06 , C07C 35/08 , C07C 35/24 , C07C 35/27 , C07C 35/30 , C07C 35/37 , C07C 69/013 D , C07C 69/753 Z , C08F 32/04 , G03F 7/027 , G03F 7/039 601 , C07C 29/40 , C07C 67/14 , C07C 69/54 B , H01L 21/30 502 R

Fターム (41件)：

2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025BJ10 , 2H025CB08 , 2H025CB10 , 2H025CB41 , 4H006AA01 , 4H006AA02 , 4H006AA03 , 4H006AB46 , 4H006AC28 , 4H006AC41 , 4H006AC48 , 4H006BJ30 , 4J100AJ02R , 4J100AK31P , 4J100AK32P , 4J100AL03R , 4J100AL03S , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AL09R , 4J100AM02S , 4J100AR11Q , 4J100AR11R , 4J100AR11S , 4J100BA11R , 4J100BA20Q , 4J100BB18Q , 4J100BC04Q , 4J100BC07S , 4J100BC09Q , 4J100BC09S , 4J100BC12Q , 4J100BC53R

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