特許

J-GLOBAL ID：200903086528919968

精密洗浄剤組成物

発明者： 長 俊連 ,  窪川 和男
出願人/特許権者： 多摩化学工業株式会社
代理人 (1件)： 成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127104
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319699
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 高度の表面清浄度が要求されるガラスやウエーハ等の被洗浄物の洗浄工程で用いられ、これら被洗浄物の表面にヤケや潜傷等のダメージを与えることがなく、しかも、洗浄後の被洗浄物表面に悪影響を与える金属イオンやハロゲンイオン等の有害陰イオンを実質的に含まない精密洗浄剤組成物を提供する。【解決手段】 炭酸第四級アンモニウムと水酸化第四級アンモニウムとを主成分とし、pH調整剤として有機酸を含む洗浄用水溶液からなり、必要によりノニオン系界面活性剤及びアニオン系界面活性剤から選ばれた少なくとも1種の界面活性剤又は金属イオンと錯化合物を形成する錯化剤を含み、実質的に金属イオンを含まない精密洗浄剤組成物である。

請求項（抜粋）：

炭酸第四級アンモニウムと水酸化第四級アンモニウムとを主成分とし、pH調整剤として有機酸を含む洗浄用水溶液からなり、実質的に金属イオンを含まないことを特徴とする精密洗浄剤組成物。

IPC (5件)：

C11D 17/08 ,  B08B 3/08 ,  C11D 3/26 ,  C11D 7/32 ,  H01L 21/304 647

FI (5件)：

C11D 17/08 ,  B08B 3/08 Z ,  C11D 3/26 ,  C11D 7/32 ,  H01L 21/304 647 B

Fターム (25件)：

3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BB02 ,  3B201BB83 ,  3B201BB92 ,  3B201BB96 ,  3B201CB01 ,  3B201CC01 ,  3B201CC13 ,  3B201CC21 ,  4H003AB27 ,  4H003AB46 ,  4H003AC23 ,  4H003BA12 ,  4H003DA15 ,  4H003DA16 ,  4H003EB07 ,  4H003EB08 ,  4H003EB13 ,  4H003EB16 ,  4H003EB19 ,  4H003ED02 ,  4H003FA07 ,  4H003FA21 ,  4H003FA28