特許
J-GLOBAL ID:200903086534035060
セラミツクスヒータ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
足立 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-209489
公開番号(公開出願番号):特開平5-051275
出願日: 1991年08月21日
公開日(公表日): 1993年03月02日
要約:
【要約】【目的】 マイグレーションの発生を防止して、ヒータ電極の断線や抵抗変化を防止するセラミックスヒータを提供すること。【構成】 ヒータ基板1のセラミックスとして、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属の含有量が0.1重量%以下の高純度アルミナを用い、また、導電材料及びセラミックス添加剤からなるヒータ電極2のセラミックス添加剤として、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属の含有量が0.07重量%以下の酸化物を用い、それらを同時焼成して形成したセラミックスヒータ。
請求項(抜粋):
セラミックスからなるヒータ基板と、導電材料及びセラミックス添加剤からなるヒータ電極と、を同時に焼成するセラミックスヒータにおいて、前記ヒータ電極のセラミックス添加剤として、アルカリ金属及び/又はアルカリ土類金属の含有量が0.07重量%以下の酸化物を用いたことを特徴とするセラミックスヒータ。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭63-096884
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特公平3-050397
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特開昭60-212986
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