特許

J-GLOBAL ID：200903086539481255

Mn系ペロフスカイト酸化物薄膜の製造方法

発明者： 片山 真吾 ,  山田 紀子 ,  吉永 郁子
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-235925
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059022
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 巨大磁気抵抗効果を有するMn系ペロブスカイト酸化物薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】 一般式AMnO3(但し、AはLa、Pr、Ca、Srの群から選ばれる1種以上の金属からなる)で示されるペロブスカイト型酸化物の金属AのアルコキシドとMnのアルコキシドあるいはアセチルアセトナートの有機溶媒溶液あるいは前記溶液に金属の原子価に対して1.5以下の割合の水を添加して部分加水分解した溶液を基板に塗布した後、乾燥・焼成してMn系ペロブスカイト酸化物薄膜を製造する。

請求項（抜粋）：

一般式AMnO3(但し、AはLa、Pr、Ca、Srの群から選ばれる1種以上の金属からなる)で示されるペロフスカイト型酸化物の薄膜を製造する方法において、金属AのアルコキシドとMnのアルコキシドの有機溶媒溶液あるいは前記溶液に金属の原子価に対して1.5以下の割合の水を添加して部分加水分解した溶液を基板に塗布した後、乾燥・焼成することを特徴とするMn系ペロフスカイト酸化物薄膜の製造方法。