特許
J-GLOBAL ID：200903086543527332
超音波アレイセンサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
板谷 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-283848
公開番号（公開出願番号）：特開2005-051688
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】超音波アレイセンサの耐環境性を向上する。【解決手段】超音波アレイセンサ1は板状のベース部10を備え、ベース部10には主面11bに向かって開口する複数の凹部12が形成される。ベース部10の他方の主面11a上には絶縁層21が設けられ、絶縁層21上において複数の凹部12にそれぞれ対応する領域には、絶縁層21側から順に下部電極31、圧電膜41、および、上部電極51が設けられ、下部電極31、圧電膜41および上部電極51により振動検出層40が構成される。圧電膜41および上部電極51上には、これらを覆うようにして酸化シリコンにより形成される保護膜61が設けられる。これにより、超音波アレイセンサ1では圧電膜41が腐食等することが防止され、超音波アレイセンサ1の耐環境性を向上することができる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
超音波を検出する複数のセンサ素子が配列された超音波アレイセンサであって、
主としてシリコンにより板状に形成され、一の主面に向かって開口する複数の凹部を有するベース部と、
前記ベース部の他の主面上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層上の少なくとも前記複数の凹部に対応する領域において、前記絶縁層側から順に、下部電極、圧電膜および上部電極を有する振動検出層と、
少なくとも前記圧電膜を覆う保護膜と、
を備えることを特徴とする超音波アレイセンサ。
IPC (7件)：
H04R17/00
, G01S7/521
, H01L41/08
, H01L41/187
, H01L41/193
, H01L41/22
, H04R31/00
H04R17/00 332A
, H04R17/00 330H
, H04R31/00 330
, G01S7/52 A
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101D
, H01L41/18 102
, H01L41/22 Z
5D019AA19
, 5D019BB18
, 5D019HH03
, 5J083AC40
, 5J083CA07
, 5J083CA12
, 5J083CB04
, 5J083CB14
, 5J083CB18
