特許
J-GLOBAL ID：200903086552808999
現像方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
近島 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200128
公開番号（公開出願番号）：特開平8-044075
出願日： 1994年08月01日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 現像ムラやシミを作ることのない現像方法を提供する。【構成】 パドル現像の後、一時的に基板1の搬送を停止させるか、あるいはその基板1の搬送速度を低下させることにより、一定時間をおいてから次のシャワー現像工程へ搬送するようにする。これにより、パドル現像の後、現像液を基板上に一定時間静止させてじっくりと反応させることができ、よってムラのない現像を行うことができる。しかもその後のシャワー現像で、さらに現像品位を高めることができる。そして、次のムラ取り工程により、微小な残渣成分をも除去して現像ムラを取り、仕上がりをより良くすることができる。
請求項（抜粋）：
基板上の露光された感光性樹脂を現像液を用いて現像する現像方法において、パドル現像を行う第1の工程と、シャワー現像を行う第2の工程と、現像ムラを取る第3の工程と、現像液の液切りを行う第4の工程と、1回目のシャワーリンスを行う第5の工程と、2回目のシャワーリンスを行う第6の工程と、リンス液の液切りを行う第7の工程と、を備え、前記各工程に沿って前記基板を搬送させるとともに、前記パドル現像工程の後、一時的に前記基板の搬送を停止させるか、あるいはその基板の搬送速度を、前記パドル現像工程における搬送速度よりも低下させることにより、一定時間をおいてから、次のシャワー現像工程へ搬送することを特徴とする現像方法。
IPC (2件)：
G03F 7/30
, G02B 5/20 101
