特許
J-GLOBAL ID：200903086554301395
応力測定方法および応力測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134595
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005471
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：
【要約】【目的】 ラマン分光法による測定箇所の可視化と測定位置の特定化が容易で、極微小部の応力値と分布状態とを高精度に測定可能な応力測定装置を提供する。【構成】 第1紫外レーザ光源1からの紫外レーザ光2を試料8に照射し、反射した紫外レーザ光を紫外イメージセンサ9で検出し、試料の表面形態を画像処理装置11に表示する。一方、第2紫外レーザ光源12からの紫外レーザ光13を試料8に照射し、ラマン散乱光を分光器16と検出器17で検出し、ラマンスペクトルをコンピュータ10に読み込む。各走査点での周波数シフト値から応力値を求め、分布状態を画像処理装置11に表示する。画像処理装置11の画面中心と紫外レーザのスポット中心とを一致させ、測定箇所が画像処理装置11の画面中心と一致するように試料8を移動させ、特定化した箇所の応力を測定する。
請求項（抜粋）：
可視レーザ光源と当該可視レーザ光源からのレーザ光を試料表面にスポット状に照射する対物レンズと分光器と前記試料表面からのラマン散乱光を前記分光器に導くハーフミラーと分光されたラマン散乱光を検出する検出器とを用いてラマン分光法により前記試料における応力を測定する応力測定方法において、前記ラマン分光法の実行に先立ち、前記可視レーザ光源からのレーザ光を前記試料に照射し、前記試料からの反射光をイメージセンサにより検出し、測定箇所の可視化および特定化を実行し、前記ラマン分光法により前記測定箇所における応力値または応力分布を測定することを特徴とする応力測定方法。
IPC (3件)：
G01L 1/00
, G01J 3/44
, G01N 21/65
