特許

J-GLOBAL ID：200903086555995463

研磨装置および研磨方法

発明者： 野中 義史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-220904
公開番号（公開出願番号）：特開2003-025201
出願日： 2001年07月23日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】 高い形状修正能力と高い加工能率を両立させることができる研磨装置と該研磨装置を用いる研磨方法を提供する。【解決手段】 工具面内で任意の荷重分布を形成可能な1以上の研磨荷重発生装置5を有する研磨工具2を備える研磨ヘッド1は、位置決め機構4に搭載されており、研磨加工時に常に工具軸線が被加工物Wの加工対象部位の面法線と一致するように位置決め機構4により位置決め制御され、また、工具面内の研磨荷重分布が常に目標とする除去形状と一致するよう研磨工具2内の研磨荷重発生装置5が制御される。研磨加工に際して、研磨荷重分布は、変換手段9により、予め得られる被加工物Wの形状測定結果に基づく誤差形状に応じた目標研磨除去量の分布から変換され、研磨荷重発生装置5は研磨荷重制御手段8を介して逐次制御されて被加工物W上の加工部位に応じた研磨荷重分布を形成する。

請求項（抜粋）：

1つ以上の研磨荷重発生装置を有する研磨工具と該研磨工具を保持する工具保持部材とからなる研磨ヘッドと、工具軸線が被加工物の加工対象部位の面法線と一致するように研磨工具および被加工物の位置決めを行う位置決め機構と、研磨工具と被加工物を相対的に走査可能な走査機構と、加工時における研磨工具と被加工物の相対運動中に常に工具軸線が前記面法線を追従するように研磨工具と被加工物の位置関係を制御する位置制御手段と、研磨工具が被加工物と接触する工具面内において前記研磨荷重発生装置を作動させて任意の研磨荷重分布を形成する研磨荷重制御手段と、被加工物の誤差形状に応じた目標研磨除去量の分布を研磨荷重の分布に変換する変換手段と、研磨工具が被加工物に作用する位置に応じた研磨荷重分布の指令を前記研磨荷重制御手段に出す指令発生手段とを備えることを特徴とする研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 13/00 ,  B24B 17/10 ,  B24B 41/04 ,  B24B 49/02

FI (4件)：

B24B 13/00 Z ,  B24B 17/10 A ,  B24B 41/04 ,  B24B 49/02 Z

Fターム (15件)：

3C034AA19 ,  3C034BB31 ,  3C034CA05 ,  3C034CB04 ,  3C034DD07 ,  3C049AA01 ,  3C049AA11 ,  3C049AA12 ,  3C049AA16 ,  3C049AA18 ,  3C049BA05 ,  3C049BC02 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03