特許
J-GLOBAL ID：200903086557436593
ガス検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-318738
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072080
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】含水酸化タングステン膜の光学的性質が水素または含水素化合物ガスによって迅速に変化することを利用することによって、常温におけるガスセンサのこれらガスに対する応答を迅速化する。【構成】基板1に含水酸化タングステン膜2を形成したのち、その上にさらに半透明の触媒金属薄膜3を堆積した素子からなり、常温において約十秒で水素に対して可逆的に応答する。上記素子の光反射率または光透過率の変化を電気量に変換して前記ガスの濃度を評価する。
請求項（抜粋）：
水素または含水素化合物ガスの検出装置であって、被検ガスの影響によ栄って光学的性質が迅速に変化する含水酸化タングステン膜からなるガスセンサと、この変化を電気量に変換して前記ガスの濃度を評価するための装置とを含むガス検出装置
IPC (2件)：
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