特許

J-GLOBAL ID：200903086562408875

Al又はAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法

発明者： 山根 知幸 ,  矢野 栄治 ,  小川 恵太郎 ,  川原 博宣 ,  山本 秀之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-045176
公開番号（公開出願番号）：特開平10-237692
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月08日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は,ドライエッチング装置,CVD装置,PVD装置などに用いられるAl又はAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法であって,チャンバ内を任意の圧力まで高速で真空排気の行えるAl及びAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法を提供することにある。【解決手段】Al又はAl合金製真空チャンバ部材の表面に陽極酸化処理を行うにあたって,ほう酸を含有する溶液を使用しバリヤ-形皮膜を形成させる。また,陽極酸化処理にあたっては,上記処理液中に他の元素を含有させた溶液を用いてもよく,陽極酸化電圧を全工程の任意の区間で一定に保持,または連続的,非連続的に変化させてもよく,その処理液温度,時間においても任意の温度,時間で制御を行ってもよい。

請求項（抜粋）：

Al又はAl合金製真空チャンバ部材の表面に陽極酸化処理を行うにあたって,ほう酸を含有する溶液を用いることを特徴とするAl又はAl合金製真空チャンバ部材の表面処理方法。

IPC (4件)：

C25D 11/08 ,  C23C 14/24 ,  C23C 16/44 ,  C25D 11/04 101

FI (4件)：

C25D 11/08 ,  C23C 14/24 A ,  C23C 16/44 B ,  C25D 11/04 101 Z