特許

J-GLOBAL ID：200903086568237703

高周波誘導熱プラズマ装置を用いた有機ハロゲン化合物の分解装置

発明者： 水野 光一 ,  大内 日出夫 ,  吉田 豊信 ,  朝倉 友美 ,  植松 信行 ,  小牧 久
出願人/特許権者： 工業技術院長 ,  東京大学長 ,  東京電力株式会社 ,  新日本製鐵株式会社 ,  日本電子株式会社
代理人 (2件)： 工業技術院資源環境技術総合研究所長 (外2名) ,  井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-227516
公開番号（公開出願番号）：特開平7-080286
出願日： 1993年09月13日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 被分解物質の導入配管などの高温の加熱を必要とせず、被分解物質の凝縮や、配管内部の異常な加圧を防止することができる高周波誘導熱プラズマ装置を用いた有機ハロゲン化合物の分解装置を実現する。【構成】 管21とチャンバー23内に水蒸気プラズマPを発生させた後、バルブ32を開けると共に、アルゴンガスボンベ35からアルゴンガスを容器34中に供給し、容器34内部のフロン液を押し出し、プローブ30の孔29を介して液状のまま水蒸気プラズマ中に供給する。この結果、フロンと水蒸気は、一万度もの熱プラズマにより原子・分子状に分解され、そして、冷却過程において炭酸ガスや酸性ガスに変換される。その後、炭酸ガスはそのまま排出し、酸性ガスは容器17のアルカリ水溶液16と中和させて食塩などの無公害な物質に変え、排水するかフッ素などを回収して再利用が図られる。

請求項（抜粋）：

プラズマ発生用ガスが一端から供給される管と、管の外側に配置された高周波誘導コイルとを備え、管内でプラズマを発生させるようにした高周波誘導熱プラズマ装置に分解すべき物質と水蒸気とを供給し、プラズマ中で該物質を分解するようにした高周波誘導熱プラズマ装置を用いた有機ハロゲン化合物の分解装置において、水蒸気と分解すべき物質を別の経路によって高周波誘導プラズマ装置中に導くと共に、高周波誘導プラズマ装置におけるプラズマの発生方向を水平方向以上の上向きとしたことを特徴とする高周波誘導熱プラズマ装置を用いた有機ハロゲン化合物の分解装置。

IPC (3件)：

B01J 19/08 ,  A62D 3/00 ZAB ,  H05H 1/42

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平3-090172
  
• 特開平2-107387
  
• 酸化タンタル薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-306776   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-279178
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-090172
  
• 特開平2-107387
  
• 酸化タンタル薄膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-306776   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-279178