特許

J-GLOBAL ID：200903086568684319

光露光装置

発明者： 関 雅光
出願人/特許権者： 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社 ,  三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-322546
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176467
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】 装置内で発生する乱反射光を発散、放出させることにより乱反射光の光経路への再入射を抑制し、解像度が向上する光露光装置を得る。【構成】 光露光装置の側壁3bの表面を多数の半球体12で覆うように構成し、半球体12の表面で乱反射光17を多数の方向18a〜18dに反射させることにより、光経路21への再入射を低減する。

請求項（抜粋）：

光源と、上記光源の発する光の予め定められた経路に設けられたマスクと、上記光を集光した後上記マスクに照射し、上記マスクのパターンを投影する光学系とを備える光露光装置において、上記光の経路側壁の表面を、半球体状の多数の凸部により構成したことを特徴とする光露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527