特許
J-GLOBAL ID：200903086572997089
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328734
公開番号（公開出願番号）：特開平5-165221
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】 同心円形状の微細グレーティングを均一に形成する露光装置を提供することを目的とする。【構成】 図1(a)において、15はレーザー光源と干渉レンズの間に設けられた円環マスクであり、円環状の領域16の光束を透過させることで、露光面上の干渉領域を制限して、特定の領域(-x2<x<+x2)内で同心円グレーティングが作成できるようにする。ここで、円環状の透過率変調フィルター17を設けることで、屈折光22a、22bの強度分布は曲線23のようになす。【効果】 図1(b)に示すように露光面上の光強度分布が実線21のように-x2<x<+x2の領域でより均一になる。これにより、中心近傍の露光条件に対する裕度が高まるため、露光領域内でグレーティングが形成される領域がより広くできるなる(ΔxAの輪帯状グレーティング形成領域がΔxBの領域になる。)
請求項（抜粋）：
レーザー光源と、前記光源から出射するレーザー光の光軸を軸とする回転面で屈折させる屈折体と、前記レーザー光の光軸にほぼ直交する基板上に形成された感光膜とからなり、前記屈折体の各対角母線で屈折した光束が交差、干渉して光軸法平面上にて形成される同心円状の周期的明暗縞により前記感光膜をパターン露光する露光装置であり、前記レーザー光源と屈折体の間、または前記屈折体と前記基板との間に、感光膜表面のごく近傍で光軸と交差する光束の光強度を低減させる円環状の透過率調整フィルターもしくは前記光束を遮光する円環状の遮光フィルターを有することを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 505
, H01L 21/027
