特許
J-GLOBAL ID：200903086575501459

カラーフィルタの製造方法

発明者：
円道 博毅

円道 博毅 について

, 
堀内 俊二

堀内 俊二 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-215081
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208021
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 色素として染料を用いたカラーレジスト法を提供することによって、固体撮像素子用のカラーフィルタの製造にカラーレジスト法を適応させ、固体撮像素子の製造工程の簡略化を図ることを目的とする。【構成】 染料を分散させた光重合型の感光性組成物を基材1上に塗布して着色層2を形成する。その後、着色層2をリソグラフィー法によってパターン化し、基材1上に着色パターン2aを形成する。次いで、基材1を60°Cから200°Cの範囲で昇温加熱しながら着色パターン2aに光6を照射して着色パターン2aを硬化させる。これによって、より低温で着色パターンを硬化させ染料の変質を防止する。
請求項（抜粋）：
着色した感光性組成物をパターン化した着色パターンよりなるカラーフィルタの製造方法であって、染料を含有する光重合型の感光性組成物を、基材上に塗布して着色層を形成する工程と、前記着色層をリソグラフィー法によってパターン化し、前記基材上に着色パターンを形成する工程と、前記基材を加熱しながら前記着色パターンに光を照射して、当該着色パターンを硬化させる工程とを行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101 ,  H01L 27/14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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