特許

J-GLOBAL ID：200903086585157411

ロードロック室

発明者： 守田 憲司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-246200
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092724
出願日： 1996年09月18日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 室内の排気及び注気時に、室内に残留しているゴミが舞って試料表面に載ることがないように改良を加えたロードロック室を提供する。【解決手段】 本発明のロードロック室3には、室内33に、試料7を覆う防塵カバー35、41が設けられている。防塵カバー35、41は、試料7の上面及び側面、下面をも覆うように設けられている。さらに、カバーに覆われた空間33bの外に真空排気口47が設けられており、該空間33b内にリーク口39が設けられている。

請求項（抜粋）：

真空下で試料を処理する真空装置と大気雰囲気の外部との間に置かれ、該真空装置に試料を搬出入するためのロードロック室であって;該室内に、試料を覆う防塵カバーが設けられていることを特徴とするロードロック室。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 541 L ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 G