特許

J-GLOBAL ID：200903086585309548

顕微鏡

発明者： 大瀧 達朗
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346068
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148521
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】 照明光の正反射光の影響を受けないで試料表面の観察ができる顕微鏡を提供する。【解決手段】 レーザー光源1より放出された平行光束は、ダイクロイックミラー4で反射されて90°向きを変え、開き角制限アパーチャー10で開き角を制限された後、スキャンミラー11で反射される。そして、対物レンズ6を通って、試料7の表面で焦点を結んでスポットを形成する。スキャンミラー11は2次元方向に回動軸を中心として回動が可能であり、その反射面の一点の位置のみが、回動によって変化しないようになっている。そして、その回動中心を、回動中心が、対物レンズ6の焦点面上で、対物レンズ6の光軸から離れた位置となるようにスキャンミラー11を配置している。これにより、正反射光が光電検出器14で検出されなくなり、ノイズが低下する。

請求項（抜粋）：

試料表面に垂直な光軸を有する対物レンズを介して試料表面に斜めに照明光束を照射し、前記試料表面から反射又は放出される光を、前記対物レンズを介して前記照射光束の照射方向と同じ方向から受光して、前記試料表面の像を撮像装置の撮像面に結像させる機能を有することを特徴とする顕微鏡。

Fターム (7件)：

2H052AC04 ,  2H052AC09 ,  2H052AC15 ,  2H052AC18 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14