特許
J-GLOBAL ID：200903086588051070
中性蒸気発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-344389
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174772
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】中性蒸気発生装置において、電子の混在しない中性蒸気を得る。【構成】中性物質5を保持するるつぼ1と、電子ビーム3を発生する電子ビーム発生装置4と、中性物質5の表面で散乱した散乱電子ビーム6を吸収するビームダンパ2よりなる。【効果】中性蒸気に混入する散乱電子ビームが減少する。
請求項（抜粋）：
中性物質を保持する保持装置と、前記中性物質を蒸発する電子ビーム入射装置と、前記保持装置に保持された前記中性物質の表面で散乱した電子を吸収するビームダンパを有する中性蒸気発生装置において、前記ビームダンパに蒸発した前記中性物質の流出方向に拡散する前記電子を捕獲するような形状をなすことを特徴とする中性蒸気発生装置。
IPC (4件)：
H01J 37/30
, G21K 1/00
, H05H 3/02
, C23C 14/24
