イオン質量分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-290308
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142025
出願日： 1993年11月19日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】イオン質量分析計において、常に安定した高い検出感度が確保できるようにする。【構成】サンプリングコーン10とスキマコーン12との間の差動排気室14内の圧力を調整する圧力調整手段18を設け、衝撃波の発生箇所p1が常にスキマコーン12の前縁部分に位置するようにした。

請求項（抜粋）：

イオン源で発生されるイオンを導入するインターフェイス部と、このインターフェイス部を通過したイオンを収束して質量分析計に導くイオン収束部とを備え、前記インターフェイス部は、イオン通過方向に沿って前後に配置されたサンプリングコーンとスキマコーンとによって、両者間に差動排気室が形成されてなるイオン質量分析装置において、前記サンプリングコーンとスキマコーンとの間の差動排気室内の圧力を調整する圧力調整手段を設けたことを特徴とするイオン質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J 49/26 , G01N 23/00 , H01J 49/10

前のページに戻る