特許

J-GLOBAL ID：200903086595446292

表面改質方法

発明者： 林 和範 ,  佐々木 純
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-036117
公開番号（公開出願番号）：特開平6-228750
出願日： 1993年02月01日
公開日（公表日）： 1994年08月16日
要約：

【要約】【目的】 チタンイオン注入によって鉄鋼材料の表面の耐摩耗性を改善する方法に於て、真空中に残留した炭素含有ガスの被処理材への吸着を促進し、注入表面の炭素の取り込み量を増加させる。【構成】 被処理材5を試料ホルダ2に取り付け、処理チャンバ1を真空排気後、冷却装置3を起動し、試料温度を200 ゚K以下に保ち、チタンイオン注入を行う。チタンの注入量は1×1017atoms/cm2以上であって、かつ2×1018atoms/cm2以下が望ましい。【効果】 被処理材を200 ゚K以下に冷却することで、真空中に残留する炭素含有ガスの吸着が促進されるため、注入層への炭素の取り込み量が増加し、耐摩耗性に優れた表層を形成することができる。

請求項（抜粋）：

鉄鋼材料の表面の耐摩耗性を改善するべく該鉄鋼材料にチタンイオンを注入する表面改質方法に於て、真空中に残留する炭素含有ガスの被処理材への取り込みを促進するべく、イオン注入時の被処理材の温度を200 ゚K以下に保った状態で前記被処理材に対するチタンイオンの注入を行うことを特徴とする表面改質方法。