オニウム塩化合物、感放射線性酸発生剤およびポジ型感放射線性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-247762
公開番号（公開出願番号）：特開2009-079049
出願日： 2008年09月26日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：

【課題】感放射線性酸発生剤に好適なオニウム塩、該オニウム塩を必須成分とする感放射線性酸発生剤、並びに該感放射線性酸発生剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物の提供。【解決手段】下式で示されるオニウム塩(式中、Ar3は2価の芳香族炭化水素基等、R5およびR6はアルキル基等、Ar3、wは1〜10、yは0〜6、vは0〜3の整数を示す。)、該オニウム塩を必須成分とする感放射線性酸発生剤、並びに該酸発生剤を含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：