複合荷電粒子ビーム装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-281314
公開番号（公開出願番号）：特開平7-134967
出願日： 1993年11月10日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】イオンビームによる試料の加工状態をリアルタイムで電子ビーム照射により観察できる複合荷電粒子ビーム装置を実現する。【構成】イオンビームと電子ビームは、同時に試料2に照射される。試料へのイオンビームの照射により2次イオンが発生し、また、試料2への電子ビームの照射によってX線が発生する。2次イオンは検出器30によって検出され、この検出信号は、増幅器31によって増幅された後に陰極線管28に供給される。一方、発生したX線は、X線検出器34によって検出された後、EDS分析器35によって信号処理され、特定波長のX線に基づく信号が陰極線管29に供給される。陰極線管28には試料2へのイオンビームの照射により発生した2次イオンに基づいた2次イオン像が表示され、陰極線管29には試料2への電子ビームの照射により発生したX線に基づいたX線像が表示される。

請求項（抜粋）：

イオン銃と、イオン銃からのイオンビームを試料上に細く集束するためのイオンビーム集束手段と、イオンビームを試料上で走査するためのイオンビーム走査手段と、電子銃と、電子銃からの電子ビームを試料上に細く集束するための電子ビーム集束手段と、電子ビームを試料上で走査するための電子ビーム走査手段と、イオンビーム走査手段と電子ビーム走査手段とに走査信号を供給するための走査信号発生手段と、試料へのイオンビームの照射に基づいて発生した2次イオンを検出するための2次イオン検出器と、試料への電子ビームの照射によって発生したX線を検出するX線検出器と、2次イオン検出器の出力信号に基づいて2次イオン像を表示する第1の表示手段と、X線検出器の出力信号に基づいてX線像を表示するための第2の表示手段とを備えており、試料に同時にイオンビームと電子ビームを照射し、2次イオン像とX線像とを同時に表示するように構成した複合荷電粒子ビーム装置。

IPC (3件)：

H01J 37/256 , H01J 37/317 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-121252
特開昭50-145186
特開平4-233149

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