特許

J-GLOBAL ID：200903086613266868

半導体ウェーハの生産方法

発明者： 冨樫 洋一
出願人/特許権者： 山形日本電気株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-338987
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236413
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェーハ生産ラインの各製造装置での半導体ウェーハの処理開始タイミングのバラツキを一定とし、製造計画通り生産させ、半導体ウェーハの納期の厳守を行う。【解決手段】 進捗状況比較部3と、製造装置状態監視部4と、在庫管理部5と、仕掛棚制御部6とを有する生産システムを構成し、製造装置状態監視部4からのタイミング信号により進捗状況比較部3において、製造装置で次に処理する半導体ウェーハを決定し、その半導体ウェーハを仕掛棚より自動検索する。

請求項（抜粋）：

あらかじめ作成された製造計画および生産実績を比較参照して生産進捗状況を算出する進捗状況比較算出部と、製造装置の処理状態を監視する製造装置状態監視部と、前記製造装置で処理するために仕掛棚に仕掛った半導体ウェーハを管理する在庫管理部と、前記製造装置で処理する半導体ウェーハを前記仕掛棚から自動検索する仕掛棚制御部とを有するシステムを構成し、前記製造装置状態監視部からのタイミング信号により前記進捗状況比較算出部における生産進捗状況の算出を開始して次に処理する半導体ウェーハを決定し、その半導体ウェーハを前記仕掛棚制御部により前記仕掛棚から自動検索することを特徴とする半導体ウェーハの生産方法。