特許
J-GLOBAL ID：200903086625084005
バレル型アツシヤ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-158152
公開番号（公開出願番号）：特開平5-006878
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】 複数の半導体ウエーハの表面に形成したレジスト膜を、酸化して除去するバレル型アッシャの改良に関し、予備加熱ヒータの方式を変更し、石英チューブを二重構造にし、この石英チューブの間に空気を流して上下の温度差を解消することを目的とする。【構成】 石英チューブ2内に、レジスト膜を塗布した複数の半導体ウエーハ11を載置してヒータで予備加熱した後、この処理室内に酸素を供給し、石英チューブ2の周囲の対向電極9に高周波電圧を印加し、レジスト膜をこの半導体ウエーハ11の表面から除去するバレル型アッシャにおいて、この石英チューブ2の周囲を包囲し、空気供給口3aと空気排出口3bとを備えた第2の石英チューブ3と、この石英チューブ2とこの第2の石英チューブ3との間に配設したセラミックヒータブロック4と、この空気供給口3aに空気を供給し、この空気排出口3bから空気を排出する空気循環装置5とを具備するように構成する。
請求項（抜粋）：
本体(1) と石英チューブ(2) により包囲された処理室内に、レジスト膜が塗布されている複数の半導体ウエーハ(11)を搭載したウエーハホルダ(7) を載置してヒータで予備加熱した後、酸素供給管(6) により前記処理室内に酸素を供給し、前記石英チューブ(2) の周囲に配設した対向電極(9) に高周波電源(10)により高周波電圧を印加し、前記レジスト膜を酸化して前記半導体ウエーハ(11)の表面から除去するバレル型アッシャにおいて、前記石英チューブ(2)の周囲を包囲し、空気供給口(3a)と空気排出口(3b)とを備えた第2の石英チューブ(3) と、前記石英チューブ(2) と前記第2の石英チューブ(3) との間に配設したセラミックヒータブロック(4) と、前記空気供給口(3a)に空気を供給し、前記空気排出口(3b)から空気を排出する空気循環装置(5) と、を具備することを特徴とするバレル型アッシャ。
IPC (2件)：
H01L 21/302
, H01L 21/027
