特許
J-GLOBAL ID:200903086630980671
光変調素子及びアレイ型光変調素子並びに平面表示装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-282812
公開番号(公開出願番号):特開2000-111813
出願日: 1998年10月05日
公開日(公表日): 2000年04月21日
要約:
【要約】【課題】 駆動電圧が低く安価に大面積化が可能であると共に製作が容易な簡単な構成であって、高画質、高速応答性を有する光変調素子、及びアレイ型光変調素子、並びに平面表示装置を提供する。【解決手段】 変調する光に対して透明な透明基板11と、遮光性を有する複数の格子板12を離間しつつ配列して形成したスリット13を複数備えると共に、少なくとも一部分が導電性を有する可動格子14と、可動格子14を透明基板11上で所定間隔を隔てて対向配置させ、格子板の配列方向に移動可能に支持する弾性支持部材と、可動格子14のスリット位置に重合する透明基板11の位置にそれぞれ形成した遮光膜19と、透明基板11上に配置した固定電極と可動格子14に所定の駆動電圧を印加することで発生する静電気力によって、可動格子14を格子板12の配列方向に移動させる可動格子移動手段と、を備えて構成した。
請求項(抜粋):
変調する光に対して透明な透明基板と、遮光性を有する複数の格子板を離間しつつ配列して形成したスリットを複数備えると共に、少なくとも一部分が導電性を有する可動格子と、前記可動格子を、前記透明基板上で所定間隔を隔てて対向配置させ、格子板の配列方向に移動可能に支持する弾性支持部材と、前記可動格子のスリット位置に重合する前記透明基板の位置にそれぞれ形成した遮光膜と、前記透明基板上に配置した固定電極と前記可動格子に所定の駆動電圧を印加することで発生する静電気力によって、前記可動格子を前記格子板の配列方向に移動させる可動格子移動手段と、を備え、前記可動格子の移動により前記スリットを通過する光の透過率を変化させて光変調を行うことを特徴とする光変調素子。
IPC (3件):
G02B 26/08
, G09F 9/00 314
, G09F 9/00 315
FI (3件):
G02B 26/08 B
, G09F 9/00 314 A
, G09F 9/00 315 Z
Fターム (21件):
2H041AA03
, 2H041AA05
, 2H041AA06
, 2H041AB04
, 2H041AB05
, 2H041AB08
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
, 5G435AA00
, 5G435AA03
, 5G435AA17
, 5G435BB11
, 5G435BB15
, 5G435CC12
, 5G435DD01
, 5G435EE25
, 5G435FF13
, 5G435FF15
, 5G435HH02
, 5G435HH05
, 5G435HH06
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