特許

J-GLOBAL ID：200903086631519900

荷電ビーム露光装置

発明者： 守田 憲司 ,  中筋 護
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-012614
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209021
出願日： 1997年01月27日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】 アライメントや露光の精度を低下させることなくスループットの向上を図ることができる荷電ビーム露光装置の提供。【解決手段】 (a)荷電ビームによりウエハ9の露光が行なわれるメインチャンバ1と、(b)チャンバ間に設けられる開閉バルブ7および8,チャンバ内を真空排気するための真空ポンプ15〜17およびバルブ18,チャンバ内を大気圧へ戻すためのリーク機構19,リークバルブ20のそれぞれを一以上具備する搬送系Wを少なくとも一つ備える荷電ビーム露光装置において、メインチャンバ1と搬送系Wとをそれぞれベローズ2を介して接続し、メインチャンバ1と搬送系Wとの間にダンパー3をそれぞれ設けた。これにより、搬送系Wからメインチャンバ1へ伝達される振動が低減される。

請求項（抜粋）：

(a)荷電ビームにより感応基板の露光が行なわれるメインチャンバと、(b)チャンバ間に設けられる開閉バルブ,チャンバ内を真空排気する真空排気装置およびチャンバ内を大気圧へ戻すためのリーク装置をそれぞれ一以上具備する感応基板用搬送系とを少なくとも一つ備える荷電ビーム露光装置において、前記メインチャンバと前記搬送系とをそれぞれ可撓性配管を介して接続したことを特徴とする荷電ビーム露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506

FI (4件)：

H01L 21/30 541 Z ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 506 ,  H01L 21/30 502 Z