特許
J-GLOBAL ID：200903086635259911
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-124301
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306224
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：
【要約】【目的】 温度変化に強く直線性に優れた加速度センサを提供する。【構成】 弾性を有するビーム2によってマス部3をフレーム4に片持ち状に揺動自在に支持させる。このとき、マス部3の重心Gがビーム2の軸方向において、ビーム2の固定部8とマス支持部9との間(特にその中央が望ましい)に位置させる。【効果】 加えられた加速度によって、マス部3が傾くことなく基板6と平行移動するので、可動電極5と固定電極7との静電容量は加速度に比例して変化し、加速度センサの直線性が向上する。また、マス部3はビーム2によって片持ち状に支持されているので、ビーム2の熱膨張などによる温度変化の影響も少ない。
請求項（抜粋）：
弾性を有するビームによってマス部を支持基板に片持ち状に支持させた加速度センサにおいて、前記マス部の重心が、前記ビームの軸方向に関して、当該ビームの基板固定部から最遠の自由端より前記基板固定部側に位置することを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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