特許

J-GLOBAL ID：200903086635973118

セラミックス積層体の製造装置およびセラミックス積層体の製造方法

発明者： 神永 賢三 ,  今井 宏一 ,  松野 久雄 ,  香川 輝生
出願人/特許権者： 日機装株式会社
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086549
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297430
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【目的】 層剥れを生じることなく、しかも歩留り良くセラミックス積層体を製造することのできるセラミックス積層体の製造装置およびセラミックス積層体の製造方法を提供すること。【構成】 この発明のセラミックス積層体の製造装置は、セラミックス製の複数のグリーンシートを収容することのできる凹陥部を形成してなる基体と、前記凹陥部の底面に配置され、その底面を液密に覆蓋する第1弾性部材と、前記凹陥部の上部開口部を液密に覆蓋する第2弾性部材と、前記第2弾性部材を介して前記凹陥部の上記開口部を覆蓋する蓋体と、前記基体に設けられ、前記凹陥部の底面と第1弾性部材との間に圧力流体を導入する第1圧力流体導入機構と、前記第2弾性部材に圧力を印加する圧力流体を導入する第2圧力流体導入機構と、グリーンシートの加圧成形時に前記蓋体を固定する固定部材と、前記凹陥部内の第1弾性部材と第2弾性部材との間にある凹陥部内壁面に開口する開口部から凹陥部内のエアーを排気するエアー排気手段とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

セラミックス製の複数のグリーンシートを収容することのできる凹陥部を形成してなる基体と、前記凹陥部の底面に配置され、その底面を液密に覆蓋する第1弾性部材と、前記凹陥部の上部開口部を液密に覆蓋する第2弾性部材と、前記第2弾性部材を介して前記凹陥部の上記開口部を覆蓋する蓋体と、前記基体に設けられ、前記凹陥部の底面と第1弾性部材との間に圧力流体を導入する第1圧力流体導入機構と、前記第2弾性部材に圧力を印加する圧力流体を導入する第2圧力流体導入機構と、グリーンシートの加圧成形時に前記蓋体を固定する固定部材と、前記凹陥部内の第1弾性部材と第2弾性部材との間にある凹陥部内壁面に開口する開口部から凹陥部内のエアーを排気するエアー排気手段とを有することを特徴とするセラミックス積層体の製造装置。

IPC (3件)：

B28B 3/00 102 ,  B28B 3/02 ,  B28B 7/00

引用特許：

出願人引用 (7件)

• 特開昭61-292309
  
• 特開平1-215506
  
• 特開昭48-028018
  
• 特開平2-161713
  
• 特開平2-154409
  
• 特開平1-208103
  
• 特開平4-249106
  

審査官引用 (4件)

• 特公昭57-027802
  
• 特開昭61-292309
  
• 特開昭56-087311
  
• 特開平2-154409