特許
J-GLOBAL ID：200903086638242475
エッジ検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124184
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296754
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：
【要約】【目的】 2次電子信号S3が少ない部分でも正確にエッジを検出する。【構成】 荷電粒子線を試料上で走査し、発生する2次電子信号を用いて試料上のパターンのエッジを検出する方法において、その試料から発生する2次電子信号S3が極小値SNをとる位置X3をエッジとみなす。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線を試料上で走査し、発生する2次電子信号を用いて試料上のパターンのエッジを検出する方法において、前記試料から発生する2次電子信号が極小値をとる位置をエッジとみなす事を特徴とするエッジ検出方法。
引用特許：
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