特許
J-GLOBAL ID：200903086638809467
励振動型光検出角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312454
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160410
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 小型で、寸法精度が高く、良好な検出感度の角速度センサを得ること。【構成】 振動子、固定子及び前記振動子を前記固定子に支持する複数のバネを同一基板に一体に形成したSi基板、前記Si基板の一表面に面接合した、電歪材料からなる励振子とからなる振動部材と、前記振動部材の他表面に面接合し、上記振動子、励振子それぞれの中央部に設けた孔を通過する照射光を受光する光導電膜を形成した変位検出用基板とから成る構成。2つの振動部材、変位検出用基板とから成る構成。
請求項（抜粋）：
中心に孔を設けた振動子、該振動子を取囲む固定子、及び前記振動子を固定子に支持する複数のバネのそれぞれを同一基板で一体に形成したSi基板と、前記振動子上に面接合され、中心に孔を設けた電歪材料からなる励振子とで振動体を形成するとともに、前記励振子、振動子それぞれの中心に設けた孔を通過する照射光を受光する光導電膜を形成配置した変位検出用基板を前記Si基板の固定子に面接合して一体に構成される励振動型光検出角速度センサ。
IPC (4件)：
G01P 9/04
, G01C 19/56
, G01P 3/36
, G01P 15/10
