金属成分含有溶液及び金属薄膜形成方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350325
公開番号（公開出願番号）：特開2001-167633
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】十分な導電率を持ち膜厚の調整が容易な金属薄膜を安価かつ容易に製造するのに使用される金属成分含有溶液及び該溶液を用いた金属薄膜製造方法を提供する。【解決手段】平均粒径が1〜10nmの実質的に金属成分からなるコア部と該コア部に化学的に結合した有機物からなる被覆層とからなる複合金属超微粒子と、平均粒径が1〜10μmの金属粉末22とを溶媒に均一に分散させた金属成分含有溶液24を用意する工程と、金属成分含有溶液24を基板30の表面に接触させる工程と、基板30の表面に付着した金属成分含有溶液24の溶媒を蒸発させて超微粒子コーティング層32を形成する工程と、超微粒子コーティング層32を熱分解して膜厚が10〜1000μmの範囲の金属薄膜34を形成する工程とを有する。

請求項（抜粋）：

平均粒径が1〜10nmの実質的に金属成分からなるコア部と、該コア部に化学的に結合した有機物からなる被覆層とからなる複合金属超微粒子を溶媒に均一に分散させたことを特徴とする金属成分含有溶液。

IPC (6件)：

H01B 1/22 , C23C 18/08 , C23C 20/04 , H01B 1/00 , H01B 13/00 503 , H01L 21/288

FI (6件)：

H01B 1/22 Z , C23C 18/08 , C23C 20/04 , H01B 1/00 M , H01B 13/00 503 C , H01L 21/288 Z

Fターム (38件)：

4K022AA05 , 4K022BA01 , 4K022BA02 , 4K022BA03 , 4K022BA06 , 4K022BA07 , 4K022BA08 , 4K022BA09 , 4K022BA10 , 4K022BA12 , 4K022BA14 , 4K022BA17 , 4K022BA18 , 4K022BA20 , 4K022BA21 , 4K022BA22 , 4K022BA23 , 4K022BA24 , 4K022BA25 , 4K022BA28 , 4K022BA31 , 4K022BA32 , 4K022DA06 , 4K022DB19 , 4K022DB29 , 4M104AA01 , 4M104BB04 , 4M104BB08 , 4M104CC01 , 4M104DD51 , 4M104DD78 , 4M104HH16 , 5G301DA02 , 5G301DA03 , 5G301DA05 , 5G301DA06 , 5G301DA22 , 5G301DD01

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭59-167906

引用文献：

審査官引用 (1件)

金属錯体熱分解法による銀超微粒子の表面構造

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