特許
J-GLOBAL ID：200903086641220989
標準試料
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220840
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072100
出願日： 1993年09月06日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】1度の測定で多数の物質層間の界面幅すなわち分解能と深さとの関係を求めることができ、分析条件の把握に要する時間を大幅に短縮化することを目的とする。【構成】オージェ電子分光分析法や二次イオン質量分析法やXPS、蛍光X線分析法などにおける界面分解能評価や電子、X線の深さ方向侵入距離評価に必要な標準試料において、3種以上の物質層を複数回積層させたことを特徴とする標準試料。
請求項（抜粋）：
オージェ電子分光分析法や二次イオン質量分析法やXPS、蛍光X線分析法などにおける界面分解能評価や電子、X線の深さ方向侵入距離評価に必要な標準試料において、3種以上の物質層を複数回積層させたことを特徴とする標準試料。
IPC (2件)：
G01N 23/22
, G01N 1/00 102
