特許

J-GLOBAL ID：200903086652198667

多機能エアフィルター及び該フィルターが組込まれた空気循環式クリーンユニット

発明者： 村岡 久志
出願人/特許権者： 株式会社ピュアレックス ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 岩見谷 周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-319267
公開番号（公開出願番号）：特開平8-168628
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年07月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】空気中の化学汚染物質を半導体工業用プロセス装置等に要求される非常に低い濃度レベルまで除去することが可能な多機能エアフィルタ及びフィルタが組み込まれた空気循環式クリーンユニットを提供する。【構成】本発明の多機能エアフィルターは、エア導入側開口部1とエア排出側開口部2を有するフィルターケース3、フィルターケースの内部にリークの無いように周縁が固定されたプリーツ状エアフィルターエレメント4とから成り、該エアフィルターエレメントの折り畳みによって形成されているエア導入側溝内には、化学物質吸収性繊維で織られた少なくとも1枚のフィルターエレメント布5が配置されている。

請求項（抜粋）：

エア導入側開口部とエア排出側開口部を有するフィルターケース、該フィルターケースの内部に前記エア導入側開口部から前記エア排出側開口部へのエア流を横断する形で配置され、周縁が前記ケースに隙間なく固定されているプリーツ状エアフィルターエレメントとから成り、該エアフィルターエレメントのプリーツ状折り畳みによって形成されているエア導入側溝内には、化学物質吸収性繊維で織られた少なくとも1枚のフィルターエレメント布が配置されている多機能エアフィルター。

IPC (6件)：

B01D 46/52 ,  B01D 39/14 ,  B01D 53/34 ,  B01D 53/81 ,  B01D 53/50 ,  B01D 53/56

FI (3件)：

B01D 53/34 A ,  B01D 53/34 123 A ,  B01D 53/34 129 A