投影露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-284478
公開番号（公開出願番号）：特開2002-175980
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2002年06月21日
要約：

【要約】【課題】照明角度分布が算出可能で所望の分布に達するように、投影露光装置を改良する。【解決手段】投影露光装置(1)は、投影光線(5)を放射する放射源(4)を備える。放射源(4)と対物面(10)の間に照明光学系(6)を対物面(10)と投影面(11)の間に投影光学系(8)を配設する。視野面(10)内の投影光線(5)の照明角度分布を測定するために、検出装置(30)を備える。これは、少なくとも1つの制御装置(34、18)を介して少なくとも1つのマニピュレータ(20、45、47)と連結する。後者は投影光路(5、9)内の少なくとも1つの光学コンポーネント(7、41)を動かすために使用される。光学コンポーネント(7、41)を制御して動かすことにより、照明角度分布が変化する。これは測定結果に応じて調整可能であり、例えば対象物構造に適合可能である。

請求項（抜粋）：

投影光線を放射する放射源を用いて対物面に配設された対象物の像を投影面に発生させる、特にマイクロ・リソグラフィ用の投影露光装置であって、放射源と対物面の間の光路に配設した照明光学系と、対物面と投影面の間の光路に配設した投影光学系とを備え、a)視野面(10、11)内の投影露光(5)の照明角度分布を測定する検出装置(30;130)を備え、b)この検出装置(30;130)を、少なくとも1つの制御装置(34、18)を介して、投影露光(5)光路内で少なくとも1つの光学コンポーネント(7、41)を動かす少なくとも1つのマニピュレータ(20、45、47)と接続し、c)光学コンポーネント(7、41)の少なくとも1つが、その運動を制御することにより照明角度分布が変化するように設計されて、投影露光(5)光路内に配設されることを特徴とする投影露光装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 , G01M 11/02 , G02B 3/08 , G02B 7/00 , G02B 19/00 , G03F 7/20 521

FI (7件)：

G01M 11/02 B , G02B 3/08 , G02B 7/00 G , G02B 19/00 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 516 C , H01L 21/30 515 D

Fターム (15件)：

2G086HH05 , 2G086HH07 , 2H052BA02 , 2H052BA08 , 2H052BA09 , 2H052BA12 , 5F046BA03 , 5F046CA04 , 5F046CB05 , 5F046CB08 , 5F046CB12 , 5F046CB23 , 5F046DA01 , 5F046DB01 , 5F046DC02

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