特許

J-GLOBAL ID：200903086659665317

加工済シリコンインゴットの洗浄方法

発明者： 鈴木 嘉裕 ,  加藤 晃一 ,  高見 敬一 ,  河村 良一 ,  渡辺 丈洋 ,  小迫 雅博
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社 ,  エム・イー・エム・シー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-201745
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036080
出願日： 1995年07月13日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】 ウエハを形成する為の切断工程を終えた加工済シリコンインゴットを薬液洗浄工程に送って洗浄する際、高価な洗浄液の短期間劣化を防止すると共に液管理の容易化を図る。【構成】 複数のウエハを形成する為の切断工程を終えた加工済シリコンインゴット2に対してノズル12a〜12gから加圧温水を噴射し、かかるインゴット2及びカーボンブロック4に形成されている狭小の切断スリット内に付着しているスラリーを除去した後、薬液洗浄工程に送って洗浄する。

請求項（抜粋）：

複数のウエハを形成する為の切断工程を終えたシリコンインゴットを、切断用取付治具に保持したままの姿で温水吹き付け洗浄した後、薬液洗浄を行うことを特徴とする加工済シリコンインゴットの洗浄方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 321 ,  B24B 27/06

FI (3件)：

H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 321 A ,  B24B 27/06 D