特許
J-GLOBAL ID：200903086660408743
往復運動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-072254
公開番号（公開出願番号）：特開2002-267953
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2002年09月18日
要約：
【要約】【課題】 従来の装置は、主に精密位置決めを目的に利用されているため、繰り返しミラーを動かすような往復運動で、バックラッシュが生じてしまう問題がある。また、装置自身の歪みや揺らぎ等による雑音成分を取り除くことが困難で高精度かつ再現性よく光路差を制御することは難しい。【解決手段】 切り欠きバネ構造としてミラー一体型の往復運動装置とする。貫通溝幅及びリーマ径、装置の材質、厚み等の形状を変えることにより極めて精度良く前後往復運動をすることができる往復運動装置を実現する。
請求項（抜粋）：
往復運動装置固定台、該固定台上に配置され両サイド周辺が前記固定台に固着されたステージ、該ステージの両サイド部と他の一辺部の周辺に設けられた貫通溝により3辺が囲われるとともに、貫通溝の無い部分により前記ステージと連結されているテーブル、該テーブルの他の一辺に設けられ前記固定台と前記テーブルとの間に力を作用させる駆動装置よりなることを特徴とする往復運動装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
2F078CA08
, 2F078CB02
, 2F078CB05
, 2F078CB09
, 2F078CB14
, 2F078CC04
, 2H041AA12
, 2H041AA23
, 2H041AB14
, 2H041AC08
, 2H041AZ01
, 2H041AZ08
