特許
J-GLOBAL ID：200903086664852966
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225511
公開番号（公開出願番号）：特開平5-066357
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：
【要約】【目的】 装置の大型化及び複雑化を招くことなく、照度の均一性に優れ、光量損失を低減することができる露光装置を提供することにある。【構成】 レーザを露光用照明光源とする光源部と、この光源からの光束を被照射面に導いてこの被照射面のパターンの像を感光基板上に投影する照明部とを備えた露光装置において、前記光源部が、光源と、ビーム整形光学系と、ビームエキスパンダ光学系とを備えたものである。
請求項（抜粋）：
レーザを露光用照明光源とする光源部と、該光源部からの光束を被照射面に導いて該被照射面のパターンの像を感光基板上に投影する照明部とを備えた露光装置において、前記光源部が、光源と、ビーム整形光学系と、ビームエキスパンダ光学系とを備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
G02B 27/00
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
