微細ボール搭載装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-150263
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345903
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】吸着治具の吸着孔へ、微細ボールを効率よくかつばらつきなく吸着させる。【解決手段】吸着治具2の吸着孔と略同一位置に、微細ボールを保持させる配列孔が形成された配列治具22を有するボール供給部14を設ける。超音波振動する超音波振動体18aに連結されて配列治具22に沿ってその上方に支持されたリング19を有し、リング19内に同心円状の節を有する定在波を発生させて微細ボールを同心円状の帯状に集束させた状態にて配列治具22上を平行移動させるボール分配部24を設ける。ボール供給部14に、吸引装置A16あるいは圧縮空気源15のいずれかを切換弁17によって接続させる。吸引装置A16をボール供給部14に接続させた状態にて、ボール分配部24を配列治具22上にて移動させ、微細ボールを配列治具22のそれぞれの配列孔へ吸引させて保持させる。

請求項（抜粋）：

バンプとなる微細ボールを吸着し、吸着した微細ボールをワークへ搭載させる微細ボール搭載装置であって、複数の吸着孔が形成された吸着治具を有し、吸引手段によって前記吸着孔に前記微細ボールを吸着させる吸着ヘッドと、前記微細ボールが保持される複数の配列孔が形成された配列治具を有し、該配列治具の配列孔に保持させた微細ボールを前記吸着治具の吸着孔へ供給するボール供給手段と、前記配列治具上を相対移動してこの配列治具に形成された前記配列孔へ前記微細ボールを保持させるべく分配するボール分配手段とを具備してなり、該ボール分配手段は、超音波振動を発生させる超音波振動体と、該超音波振動体に連結されて前記配列治具に沿ってその上方に支持され、前記超音波振動体の振動が伝達されるリングとを有し、前記超音波振動の振動により前記リング内に同心円状に節を有する定在波を発生させ、この定在波により前記微細ボールをリング内にて同心円状に集束させた状態にて、前記配列治具上を移動して、前記配列孔へ前記微細ボールを分配することを特徴とする微細ボール搭載装置。

IPC (4件)：

H01L 23/12 , H01L 21/60 311 , H01L 21/60 , H05K 3/34 505

FI (4件)：

H01L 23/12 L , H01L 21/60 311 S , H05K 3/34 505 A , H01L 21/92 604 H

前のページに戻る