特許

J-GLOBAL ID：200903086683502607

チップ部材の洗浄装置

発明者： 大洞 庄一郎 ,  上田 隆
出願人/特許権者： 関西日本電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-352907
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183008
出願日： 1998年12月11日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 チップ部材を多数個洗浄液中で攪拌させて洗浄する装置ではチップ部材が欠けやすい場合、欠片が異物となってチップ部材に再付着するという問題があった。【解決手段】 洗浄液2を収容した洗浄液槽1内に、メッシュ状底面4を有し多数のチップ部材5が投入された筒状のチップ部材収容容器8を浸漬して上下動させ、チップ部材5を洗浄液2内で攪拌して洗浄するチップ部材の洗浄装置において、上記チップ部材収容容器8周面の軸方向中間位置にメッシュ状の窓9を形成するとともに、このメッシュ状窓9を洗浄液5面が往復動するようにチップ部材収容容器8を上下動させるようにしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

洗浄液を収容した洗浄液槽内に、メッシュ状底面を有し多数のチップ部材が投入された筒状のチップ部材収容容器を浸漬して上下動させ、チップ部材を洗浄液内で攪拌して洗浄するチップ部材の洗浄装置において、上記チップ部材収容容器周面の軸方向中間位置にメッシュ状の窓を形成するとともに、このメッシュ状窓を洗浄液面が往復動するようにチップ部材収容容器を上下動させるようにしたことを特徴とするチップ部材の洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 642 ,  B08B 3/04 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/304 642 D ,  B08B 3/04 A ,  H01L 21/68 T

Fターム (12件)：

3B201AA48 ,  3B201AB08 ,  3B201AB40 ,  3B201AB45 ,  3B201BB04 ,  3B201BB92 ,  3B201CB01 ,  3B201CD22 ,  5F031CA13 ,  5F031DA20 ,  5F031HA72 ,  5F031MA23