走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：菅井英雄 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-388235
公開番号（公開出願番号）：特開2002-188987
出願日： 2000年12月21日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】2次元的な走査を行うXYピエゾスキャナと高さ方向の制御を行うためのZピエゾスキャナとの間にレーザ光源を配置して走査するプローブ走査方式を用いた走査型プローブ顕微鏡において、2次元走査時に生じるカンチレバーの変位量と、レーザ光のスポットの位置の変位量のズレをキャンセルする。【解決手段】Zスキャナ5の圧電体には、Z方向伸縮用電極の他に、位置ズレ補正用電極20が形成されている。位置ズレ補正用電極20には、X方向位置ズレ補正用電極と、Y方向位置ズレ補正用電極がある。XYスキャナ4により走査を行う際、Zスキャナ5の位置ズレ補正用電極20に適宜な電圧を印加し、カンチレバー1を、X方向及び/またはY方向に、カンチレバー1の変位量と、レーザ光のスポット位置の変位量のズレをキャンセルできるだけ大きく変位させる。

請求項（抜粋）：

カンチレバーと、カンチレバーの高さ方向の制御を行うためのZピエゾスキャナと、レーザ光源と、カンチレバーとレーザ光源を一体として2次元的な走査を行うXYピエゾスキャナとを備える走査型プローブ顕微鏡であって、Zピエゾスキャナには、XYピエゾスキャナによる走査時に生じるカンチレバーの変位量と、レーザ光源からのレーザ光のスポット位置の変位量のズレをキャンセルするための位置ズレ補正用電極が形成されてなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/10 , G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 13/10 C , G01B 21/30

Fターム (9件)：

2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069JJ08 , 2F069LL03 , 2F069MM32

引用特許：

審査官引用 (4件)

微動機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-027522 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-144886 出願人：株式会社島津製作所
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-178446 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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