大気中微量不純物の分析方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-156981
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002607
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】サンプリングの簡略化を図ると共に、高感度かつ簡便に大気中、特にクリーンルーム雰囲気中の微量不純物の分析ができる分析法を提供すること。【解決手段】粒子状吸着剤を充填したカラムもしくは均一に分散させたフィルターを通じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の微量不純物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤の組成分析を行う。

請求項（抜粋）：

粒子状吸着剤を充填した吸着カラムを通じて大気を吸引し、該粒子状吸着剤に大気中の微量不純物成分を吸着させた後、該粒子状吸着剤の組成分析を行うことを特徴とする大気中微量不純物の分析方法。

IPC (5件)：

G01N 21/73 , G01N 1/02 , G01N 1/22 , G01N 1/28 , G01N 21/68

FI (5件)：

G01N 21/73 , G01N 1/02 A , G01N 1/22 L , G01N 21/68 , G01N 1/28 T

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